特殊XPS測(cè)試

型號(hào)：PHI-5000versaprobeIII、Thermo Scientific ESCALAB 250Xi、Thermo Scientific Nexsa等測(cè)試項(xiàng)目：

XPS測(cè)試注意事項(xiàng)

1. XPS可以做的項(xiàng)目：常規(guī)全譜窄譜測(cè)試，俄歇譜，價(jià)帶譜，深度濺射，MAPPING,角分辨

2. XPS測(cè)試的元素范圍是Li-Cm, H,He元素不能測(cè)試

3. XPS數(shù)據(jù)分析可以等到元素的價(jià)態(tài)及半定量數(shù)據(jù)。原子百分含量小于5%的元素可能測(cè)不出明顯信號(hào)。

4. 無特殊說明，默認(rèn)是使用單色化AlKa源（Mono AlKa）能量是1486.6eV

5. 使用Al Kα X-ray會(huì)出現(xiàn)的重疊譜峰，當(dāng)有重疊譜峰的時(shí)候直接定量的結(jié)果不能參考。下方是常見的一些重疊譜峰的情況，解決方法是a.通過分峰擬合（這個(gè)是數(shù)據(jù)分析的內(nèi)容）后再重新定量，b.測(cè)試其他軌道的峰，需要備注相應(yīng)的軌道，默認(rèn)是測(cè)試最強(qiáng)峰，c.如果是與部分元素的俄歇峰重疊，建議可以更換靶材試試，比如Mg靶。

常見重疊譜峰有Li1s&Co3p；B1s&P2s；C1s&Ru3d5/2,Ru3d3/2；C1s&K2p；O1s&NaKLL；O1s&Pd3p3/2；O1s&Sb3d5/2；N1s&Mo3p3/2；N1s&GaLMM；Al2p&Pt4f5/2；Si2p&Pt5s；Mo3d5/2&S2s；Ta4f&O2s；Co2p&FeLMM；Mn2p&NiLMM；W4f&Zr4p；Al2p&Cu3p。

6.xps測(cè)試數(shù)據(jù)提供原始數(shù)據(jù)，不做任何矯正，不同材料的矯正方法不同，可以提供矯正操作的視頻，鏈接

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樣品要求：

塊狀、薄膜樣品：塊體/薄膜樣品尺寸大于5*5*3mm小于直徑60mm*8mm

特殊液體樣品（離子液體）可直接進(jìn)樣，大部分液體滴涂基體表面干燥后測(cè)試,，同樣尺寸大于5*5*3mm

常見問題及回答：結(jié)果展示：

250xi 是相對(duì)常用的設(shè)備，其結(jié)果如下：

測(cè)試結(jié)果給出的是VGD格式和excel格式測(cè)試結(jié)果。Excel格式文件用origin軟件作圖；VGD格式文件可以用AVANTAGE分析軟件打開。

PHI的格式如下：

測(cè)試結(jié)果給出的是原始文件SPE格式和excel格式。Excel格式文件用origin軟件作圖；SPE格式需要軟件Multipak或者CasaXPS打開（但定量需要注意靈敏度因子）。