臺階儀KLA-Tencor D120,Bruker DktakXT200 元/樣起主要測膜厚度,微米到幾百微米厚度均可測項目簡介臺階儀主要是對薄膜材料常規(guī)性能的厚度進行檢測。它廣泛應(yīng)用于太陽能薄膜材料、半導(dǎo)體硅片、微電子器件、薄膜化學(xué)涂層、平板顯示器等研究領(lǐng)域。在新型薄膜材料的開發(fā)研究工作上極為重要。當(dāng)臺階儀的觸針在被測的物體表面輕輕滑過時,被接觸的物體表面微小的峰谷就會讓觸針在進行滑行的同時也做一些上下運動。因此表面輪廓的情況在一定程度上就被觸針的運動情況所體現(xiàn)出來。樣品要求1、樣品表面不要有液體成分,樣品底部及表面相對平整,無明顯的變形彎曲;2、樣品高度不要超過50mm;3、默認在室溫下測試;4、測試目的主要有臺階高度、表面粗糙度;