| 橢偏儀 | M-2000v,J.A. Woollam RC2 等 | 300 元/樣 | 可測波長范圍 370 -1000 nm,可測材料消光系數(shù)k、折射率n、厚度 |
項目簡介
a. n(折射率),k(消光系數(shù))值
b. 膜厚
常規(guī)橢偏儀的光譜測試范圍370到1000nm,其他范圍請咨詢項目經(jīng)理400-831-0631
膜厚的測試范圍是0.5nm-10um。
結(jié)果展示
一般格式及數(shù)據(jù)處理如下說明(僅供參考,具體以實際測試為準(zhǔn),不同儀器會有差異):
測試結(jié)果給出的是圖片格式和txt格式測試結(jié)果。文本格式文件可以用EXCEL打開,Origin軟件作圖。

樣品要求
1. 樣品狀態(tài):材料一般為塊狀或薄膜,大小無特殊要求;
2. 如果有基底的膜層結(jié)構(gòu)要做折射率和消光系數(shù),基地厚度要求越厚越好,膜層厚度要在10um以下,如果是單層膜樣品,沒有基底,膜厚越厚越好,最好500um以上;膜層需為透明薄膜且膜層表面均勻,基底不需要透明。
3.特殊情況需提前溝通。
常見問題
1. 關(guān)于測試光譜范圍的選擇?
橢偏儀的光譜范圍在深紫外的142nm到紅外33um可選。光譜范圍的選擇取決于被測材料的屬性、薄膜厚度及關(guān)心的光譜段等因素。例如,摻雜濃度對材料紅外光學(xué)屬性有很大的影響,因此需要能測量紅外波段的橢偏儀;薄膜的厚度測量需要光能穿透這薄膜,到達基底,然后并被探測器檢測到,因此需要選用該待測材料透明或部分透明的光譜段;對于厚的薄膜選取長波長更有利于測量。